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溅射压力变送器传感器
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薄膜压力传感器利用溅射合金薄膜压力敏感元件结合先进的加工工艺技术制作而成。 压力介质直接作用的17-4PH不锈钢膜片上制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变单元，该合金材料以分子形式在弹性体上淀积成薄膜应变电阻，薄膜电阻与弹性体以分子键合“融”为一体，可长期在-100℃~+200℃工作温度下稳定工作。生产过程中传感器经过了严格的高、低温循环，经过了疲劳处理。产品具有准确度高，工作温度范围宽，温漂小，高稳定，高可靠，抗振动，抗冲击，抗辐射的工作特点。使用激光焊（电子束焊等），将溅射薄膜压力敏感元件与不锈钢压力接头焊为一体，传感器采用全密封焊接结构，能在各种恶劣环境下长期稳定的工作。
主要技术指标
单位
量程
MPa
0～0.5…60,70…220
过载压力
——
2倍满量程压力
准确度
%FS
±0.05 ±0.1 ±0.2
长期稳定性
%FS/年
≤±0.1
输出灵敏度
mV/V
1~2.5(30~70MP为2mv/v左右)
工作温度范围
℃
－100～200
激励电压
VDC
1～20
输入阻抗
Ω
3000±200
输出阻抗
Ω
3000±200
热零点飘移
%FS/℃
≤±0.002
热灵敏度漂移
%FS/℃
≤±0.002
绝缘电阻
MΩ
≧2000
适应湿度
——
100%相对湿度
